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本实用新型涉及一种磁体位置可调节的物理气相沉积设备，其中，包括传动装置承载机构包括固定于腔体上侧的轴承座、安装于轴承座的中心孔内的调心轴承、安装于轴承座上侧的轴承端盖、用于承载传动装置的浮动板；数个第一螺钉分别从浮动板的上侧穿过对应的第一螺...
该专利属于盛吉盛半导体科技（无锡）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过盛吉盛半导体科技（无锡）有限公司授权不得商用。

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