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本发明涉及半导体废气处理技术领域，尤其涉及一种反应装置及半导体废气处理系统，反应装置包括反应器和换热器，反应器设有制程气体进口以及与制程气体进口连通的第一腔体，换热器包括壳体以及设置于壳体内部的换热部，壳体为环状，壳体的内周面外壁围设出与第...
该专利属于北京京仪自动化装备技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京京仪自动化装备技术股份有限公司授权不得商用。

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