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本发明适用于太阳能电池技术领域，提供了一种太阳能电池及其背面膜层结构及其制备方法、组件及系统，该背面膜层结构包括在硅片背面依次沉积的钝化层、第一氧化硅层、氮化硅层、氮氧化硅层、及第二氧化硅层；氮化硅层由不同折射率的多层氮化硅膜组成；依序排布...该专利属于广东爱旭科技有限公司天津爱旭太阳能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东爱旭科技有限公司天津爱旭太阳能科技有限公司授权不得商用。