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本发明提供一种坩埚及埚帮冷却组件，包括埚帮，埚帮的内侧开设有浅槽，浅槽的内部填充树脂为硅烷树脂层，埚帮的底部涂有耐磨层，耐磨层的边侧设置有高温隔热层，埚帮的顶部两侧帮壁倾斜设置为筒状，浅槽之间对称设置，埚帮的内部套设有坩埚，坩埚的外侧涂有石...
该专利属于宁夏中晶半导体材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁夏中晶半导体材料有限公司授权不得商用。

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