下载一种微波等离子体照明系统及其自动控制方法的技术资料

文档序号:35265364

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本发明公开了一种微波等离子体照明系统及其自动控制方法,所述系统包括负责功率输出的射频能量控制区域和吸收射频功率维持发光的等离子体光源,所述射频能量控制区域包括:集成锁相控制射频芯片,开关电路,功率放大器,PID稳流电路,电压控制衰减器,检测...
该专利属于中国科学院合肥物质科学研究院所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院合肥物质科学研究院授权不得商用。

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