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用于样本分析的自适应照明图案制造技术
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下载用于样本分析的自适应照明图案的技术资料
文档序号:35259489
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一种用于分析基板处的样本的系统包括:光源,用于生成第一光;以及空间光调制器,用于从第一光形成第二光,其中,基板包括至少一个传感器,至少一个传感器用于检测基于第二光所发射的发射物,其中,在基板处,第二光形成基于至少一个传感器选择的形状,其中,...
该专利属于亿明达股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过亿明达股份有限公司授权不得商用。
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