下载一种保护装置及其控制方法、雪崩测试装置的技术资料

文档序号:35230449

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本发明提供一种保护装置及其控制方法、雪崩测试装置,保护装置通过电流采样单元和电压采样单元采集高精度的电压和电流,并通过处理单元对采集的电压和电流进行检测,以判断被测晶圆是否进入爆珠状态,即处理单元根据被测器件在测试时的特性变化来检测是否需要...
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