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本实用新型提供了一种超纯混合气自动配气系统,包括原料瓶、混合气气瓶、隔膜压缩机、纯化器、第一回收罐和第二回收罐,原料瓶与隔膜压缩机连接,隔膜压缩机与纯化器连接,纯化器与混合气气瓶连接。本实用新型通过DCS系统实现压力自动比对,阀门自动开关,...该专利属于中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司授权不得商用。
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