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一种提升隐切背镀加工芯片良率的方法技术
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文档序号:35197047
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本发明公开了一种提升隐切背镀加工芯片良率的方法,涉及半导体加工领域,解决现有工艺影响最终的芯片产品良率的问题,包括生长粘附层;贴膜;隐形切割;背片;背镀;翻转;裂片。隐形切割的过程中晶圆背面朝上,未对芯片的电极造成任何损伤,使LED芯片漏电...
该专利属于西安中为光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过西安中为光电科技有限公司授权不得商用。
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