温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种重型高架地板，包含有天板及肋骨结构，其中，该肋骨结构于该天板上形成多个高度均至少为25毫米的主肋骨，以提升该重型高架地板的结构强度，故当该重型高架地板承受半导体工艺中较重的机台设备，可避免该重型高架地板发生碎裂的问题。发生碎裂的问题。发...
该专利属于惠亚科技(苏州)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过惠亚科技(苏州)有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。