下载一种蓝宝石晶棒切割前晶向测量装置及其测量方法的技术资料

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本发明提供了一种蓝宝石晶棒切割前晶向测量装置。它包括机台线网切角角度确认装置和晶棒端面偏分测量装置两个部分。本发明可以通过对切割前晶棒与线网之间的角度判定和晶棒自身晶向测量,预估下料晶片晶向,同时可以在机台上按照计算值调整晶棒与线网待切割角...
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