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程序EBL系统实现用户提供的oracle函数(例如，与特定图案相关联)以按需生成用于电子束驱动电子设备的控制指令。控制系统可以调用oracle函数来查询各个点位置(例如，各个x、y位置)处的图案，和/或例如它可以查询与由束和平台定位器正在寻...
该专利属于奇跃公司所有，仅供学习研究参考，未经过奇跃公司授权不得商用。

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