下载一种针对液晶分子及器件垂直取向的无机取向方法的技术资料

文档序号:35106466

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本发明公开了一种针对液晶分子及器件垂直取向的无机取向方法。本发明通过在紫外臭氧清洗机里产生的臭氧及活性氧原子结合可见光波段偏振片的使用,对磁控溅射所沉积的ZnO无机膜进行处理,从而获得垂直无机取向膜实现液晶分子的垂直取向,凸显了无机膜取向的...
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