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本发明涉及一种半导体领域中的高速刺晶设备，特别是涉及一种正交驱动的刚柔耦合高速机构。本发明的目的是提供一种实现与刺晶设备机台运动的相同方向上的位移补偿而不影响机构最终的位移大小和精度的正交驱动的刚柔耦合高速机构，具体包括位移输出元件、纵向致...
该专利属于北京派和科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京派和科技股份有限公司授权不得商用。

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