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一种微流控芯片及其制作方法和电磁控制阀门的装置制造方法及图纸
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下载一种微流控芯片及其制作方法和电磁控制阀门的装置的技术资料
文档序号:35097998
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本申请涉及微流控芯片及微流阀的技术领域,尤其涉及一种微流控芯片及其制作方法和电磁控制阀门的装置,微流控芯片包括依次键合的第一层、第二层及第三层,所述第一层上设有微流道,第三层设有第五通孔,所述磁性球安装在第五通孔内,电磁控制阀门的装置包括离...
该专利属于厦门大学所有,仅供学习研究参考,未经过厦门大学授权不得商用。
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