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本发明提供一种带微流道的固态纳米孔阵列芯片及其制备方法，该阵列芯片由下至上依次包括：硅基片、第一电介质层、第二电介质层及若干电极；硅基片中形成有贯穿其的空腔；第一电介质层中形成有若干个贯穿其的纳米孔；第二电介质层中形成有若干个贯穿其的微流腔...
该专利属于上海近观科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海近观科技有限责任公司授权不得商用。

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