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本实用新型公开了一种晶圆中心检测装置，包括：安装支架、三个检测传感器、电路模块和控制器，三个所述检测传感器等间距固定在所述安装支架上且处于同一直线上，当晶圆以垂直于三个所述检测传感器连线的方向水平移动经过三个所述检测传感器时，能够被三个所述...
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