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本实用新型公开了一种晶圆载具，包括：片架和多个托盘；片架上设置有多层安装槽，各安装槽用于托盘。托盘用于放置晶圆并对晶圆进行背面整体支撑，使晶圆的背面受力均匀，用以防止晶圆产生翘曲。托盘上设置有镂空结构，多层托盘的镂空结构用于在片架内形成空气...
该专利属于宁波达新半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波达新半导体有限公司授权不得商用。

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