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在图案化衬底上执行结构化照明显微术制造技术
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文档序号:35056994
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一种结构化照明显微术(SIM)系统包括:光源;光结构化部件,该光结构化部件为来自所述光源的光提供SIM图案,用于在具有衬底图案的衬底处执行样品的照明,其中所述SIM图案的间距基于所述衬底图案的特性;以及图像传感器,该图像传感器用于检测所述样...
该专利属于亿明达股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过亿明达股份有限公司授权不得商用。
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