温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种节能式硅烷流化床装置，包括反应炉，所述反应炉的底部连接有第一原料气进管和第二原料气进管；所述反应炉的下部设有反应区，上部设有非反应区；所述非反应区内设有螺旋气管组，所述螺旋气管组的进口端连接有冷氢气进管，出口端连接有氢气...
该专利属于江苏中能硅业科技发展有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏中能硅业科技发展有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。