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本申请涉及传感器的技术领域，尤其是涉及一种基于铌酸锂薄膜的片上集成三轴陀螺组件，其包括发光单元、铌酸锂薄膜芯片和尾纤单元；所述发光单元与所述铌酸锂薄膜芯片耦合，所述铌酸锂薄膜芯片与所述尾纤单元耦合；所述发光单元用于发射光波；所述铌酸锂薄膜芯...
该专利属于北京浦丹光电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京浦丹光电股份有限公司授权不得商用。

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