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一种新型硅片水平插片机构制造技术
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文档序号:35028212
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本发明公开的属于硅片插片机技术领域,具体为一种新型硅片水平插片机构,包括支撑水箱和用于密封支撑水箱后端的导向板,所述导向板安装在支撑水箱的后端,还包括:用于对硅片进行裂纹检测和剔除的检测剔除组件,所述检测剔除组件安装在支撑水箱的上端;用于对...
该专利属于济南晶博电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过济南晶博电子有限公司授权不得商用。
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