下载一种用于碳化硅生产的水冷设备的技术资料

文档序号:35024972

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本发明属于单晶炉换热器领域领域,具体的说是一种用于碳化硅生产的水冷设备;包括单晶炉;所述单晶炉顶部分别固连有进水管和出水管;所述单晶炉内壁固连有加热仓;所述加热仓靠近顶部的内壁固连有水冷仓;所述水冷仓内固连有环形隔板;所述环形隔板的一侧为第...
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