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本实用新型涉及光学技术领域，公开一种光学系统的空间结构，以在简易空间内提高衍射光学元件的制作效率并确保产品的可靠性。包括：位于最上层的曝光光路组件和光源监控组件；位于中间层由上到下依次排布的掩膜板、模板及样品基片；样品基片设有用于经过曝光转...
该专利属于深圳市麓邦技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市麓邦技术有限公司授权不得商用。

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