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一种高效衍射光学元件衍射效率测量装置制造方法及图纸
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文档序号:34992648
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本实用新型公开了一种高效衍射光学元件衍射效率测量装置,包括依次设置的光源、准直透镜、分光镜与被测衍射光学元件,所述分光镜的上方设有第一探测器,所述被测衍射光学元件的远离分光镜的一侧设有第二探测器,所述分光镜包括并排固接的第一分光镜、第二分光...
该专利属于苏州大学所有,仅供学习研究参考,未经过苏州大学授权不得商用。
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