下载传感器芯片、力传感器装置的技术资料

文档序号:34990125

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本发明提供一种传感器芯片、力传感器装置,兼顾了耐载荷和灵敏度。该传感器芯片基于形变检测元件的输出的变化对预定的轴向的力或力矩进行多轴探测,其中,具有多个第一支撑部,将各轴的上述形变检测元件的输出放大的多个放大器配置于上述第一支撑部且与上述第...
该专利属于美蓓亚三美株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过美蓓亚三美株式会社授权不得商用。

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