下载一种双、三分子泵与真空工作腔体过渡连接管道的技术资料

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本实用新型公开了一种双、三分子泵与真空工作腔体过渡连接管道,包括第一底板和第一顶板,所述第一底板和第一顶板边缘处之间且沿周向设有第一立板,所述第一底板下面至少设有两个第一通孔,所述第一通孔内设有第一下法兰,所述第一顶板上面设有第二通孔,所述...
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