下载一种单晶硅片分选机及其使用方法的技术资料

文档序号:34986404

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本发明公开了一种单晶硅片分选机及其使用方法,具体涉及硅片制作领域,包括设备主体和固定连接在设备主体上表面的滑道块,所述设备主体的一侧设置有分片机构,所述滑道块的内腔滑动连接有封闭块,所述封闭块的底端固定连接有气泵,所述设备主体的顶端固定连接...
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