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本发明公开一种判断籽晶接液水平度的装置及方法，其中装置部分包括石墨坩埚、石墨籽晶托、石墨籽晶杆和碳化硅籽晶，将石墨籽晶托上的单个正极石墨电极和两个及以上负极石墨电极置于籽晶托边缘并按照旋转对称排布，使得多个电极处于同一水平面内，将籽晶下降至...
该专利属于北京清研半导科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京清研半导科技有限公司授权不得商用。

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