下载照明用有机发光元件制造装置的技术资料

文档序号:34978998

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本发明涉及一种照明用有机发光元件制造装置,其特征在于:制造照明用有机发光元件(organic light emitted diode,OLED)的制造装置中,包括:输送蒸镀部,其输送带状基材,该带状基材沿着宽度方向的两端相隔预设间隔地形成有...
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