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一种带极耳复合集流体的制备方法及装置制造方法及图纸
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文档序号:34977030
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本发明涉及一种带极耳复合集流体的制备方法及装置,所述方法包括聚合物薄膜转运、局部打孔、薄膜表面改性、非均匀溅射镀膜及电镀加厚五个步骤。所述装置主要包括设于真空仓室内的卷绕系统、张力系统、打孔装置、离子源处理模块、溅射处理模块及外置的电镀加厚...
该专利属于九江德福科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过九江德福科技股份有限公司授权不得商用。
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