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本发明公开了一种实时晶圆片表面曲率检测装置及方法，本发明采用多个发射波长不同的激光器发射出不同颜色的激光，并通过光路设计，将不同颜色的激光合成为一个合束激光，合束激光投射在被测量晶圆片表面后，形成反射光，反射光再经过设计的光路，形成多个单色...
该专利属于昂坤视觉（北京）科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昂坤视觉（北京）科技有限公司授权不得商用。

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