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本发明提供一种搬运机械手，晶圆置于末端执行器上，且位于凹槽及末端限位件之间，气缸驱动活塞杆伸缩以传动第一/第二带部相向/背运动、前端凹形推杆及末端执行器相向/背运动、及所述凹槽及所述末端限位件以夹持或释放所述晶圆.本发明利用同步带两侧成相反...
该专利属于上海广川科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海广川科技有限公司授权不得商用。

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