下载一种具有载流子存储层的沟槽栅IGBT器件的技术资料

文档序号:34966530

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本发明涉及功率半导体晶体管技术领域,提供一种具有载流子存储层的沟槽栅IGBT器件,从下至上依次设置集电极金属电极、集电极区、缓冲层、外延层、载流子存储层,在载流子存储层的表面设有互相平行的沟槽,沟槽内设有发射极多晶硅与第一栅极多晶硅,所述第...
该专利属于无锡新洁能股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡新洁能股份有限公司授权不得商用。

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