下载中硼玻璃管在线镀膜工艺和装置的技术资料

文档序号:34928158

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本发明提供了一种中硼玻璃管在线镀膜工艺和装置,所述中硼玻璃管在线镀膜工艺包括以下步骤:A、使中硼玻璃管匀速经过第一镀膜室;B、将甲硅烷、乙烯、氮气输送到第一混合室进行混合,将氧气、氦气、氮气输送到第二混合室进行混合;C、将混合后气第一镀膜室...
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