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本实用新型提供一种硅片传送装置及具有其的硅片分选机，所述硅片传送装置包括出片器、两个第一传动轴、两个第二传动轴、第一传送带、第二传送带，两个所述第一传动轴和两个所述第二传动轴分别设置在所述出片器的两端；所述第一传送带套设在所述出片器及两个所...
该专利属于晶海洋半导体材料（东海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过晶海洋半导体材料（东海）有限公司授权不得商用。

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