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本发明公开了一种氧化限制型垂直腔面发射激光器的制造方法。本发明制造方法包括：湿法氧化步骤，用于将DBR中的一层或多层高铝层的外圈区域氧化为氧化铝，以在所述一层或多层高铝层的中间区域形成未被氧化的氧化孔；所述制造方法还包括在湿法氧化步骤前的离...
该专利属于苏州长瑞光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州长瑞光电有限公司授权不得商用。

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