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一种半导体结构及其形成方法,半导体结构包括:基底,基底上形成有栅极结构,栅极结构两侧的基底内形成有源漏掺杂层;栅极盖帽层,覆盖栅极结构的顶部;第一介质层,位于栅极结构侧部的基底上,第一介质层顶部和栅极盖帽层顶部相齐平;第二介质层,覆盖第一介...该专利属于中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。
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一种半导体结构及其形成方法,半导体结构包括:基底,基底上形成有栅极结构,栅极结构两侧的基底内形成有源漏掺杂层;栅极盖帽层,覆盖栅极结构的顶部;第一介质层,位于栅极结构侧部的基底上,第一介质层顶部和栅极盖帽层顶部相齐平;第二介质层,覆盖第一介...