下载幅度相位可调的集成微波光子混频器芯片及其控制方法的技术资料

文档序号:34903721

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本发明公开了一种幅度相位可调的集成微波光子混频器芯片及其控制方法。该芯片可基于绝缘体上硅(Silicon on Insulator,SOI)和磷化铟(InP)半导体加工工艺制造而成。InP基半导体用来制备高功率激光器芯片,SOI基半导体用来...
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