下载一种微型光声光谱气体传感器的技术资料

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本实用新型公开了一种微型光声光谱气体传感器包括MEMS麦克风、MEMS红外光源、基板和光声池,所述MEMS麦克风、MEMS红外光源和基板依次叠放设置,所述MEMS麦克风和MEMS红外光源内设置有光声池,用于接收气体,通过MEMS红外光源发出...
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