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一种半导体制造工业的全视角视觉检测方法及装置制造方法及图纸
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文档序号:34883315
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本发明公开了一种半导体制造工业的全视角视觉检测方法及装置,包括:获取半导体产品的高维图像数据集;对高维图像数据集进行降维处理生成低维图像数据集;对低维图像数据集进行稀疏主成分分析生成主成分图像数据集;将主成分图像数据集与预设的目标数据集进行...
该专利属于陈禹卓所有,仅供学习研究参考,未经过陈禹卓授权不得商用。
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