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本发明公开了一种基于业互联网平台的半导体制造设备维修方法，包括：对小样本失效数据进行处理，所述处理包括数据清洗与特征提取，数据集成与变换；建立基于确定分布、大样本、多源信息的可靠性评估模型，根据可靠性评估模型进行数据可靠性评估；基于时效性和...
该专利属于陈禹卓所有，仅供学习研究参考，未经过陈禹卓授权不得商用。

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