下载电源切断装置及电源切断方法的技术资料

文档序号:34876820

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电源切断装置具备可动部、驱动部、电源装置、配电部、电力供给电路、供给控制部。可动部能够在沿着基板生产线设置的行走路径上行走,上述基板生产线排列设置有对基板进行预定的对基板作业的多个对基板作业机。驱动部设置于可动部,并使用通过非接触供电从对基...
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