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本发明涉及一种紧凑型容性肖特基探针装置及其使用方法，其特征在于，包括真空管道、感应极板、超高真空馈通、前端电子学、后端信号处理单元和实时信号分析仪；真空管道的两端均设置有真空管道法兰，位于两真空管道法兰之间的真空管道内围设有四个感应极板，四...
该专利属于中国科学院近代物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院近代物理研究所授权不得商用。

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