下载一种支撑模块、支撑装置及硅棒加工设备的技术资料

文档序号:34852635

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本实用新型实施例提供了一种支撑模块、支撑装置和硅棒加工设备,所述支撑模块包括底座、支撑组件以及楔形调节组件;所述支撑组件与所述底座可拆卸连接,所述楔形调节组件设置于所述支撑组件与所述底座之间;所述楔形调节组件用于调整所述支撑组件与所述底座之...
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