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本申请涉及半导体制造领域，具体而言，涉及一种自动阻抗匹配方法、装置、系统、电子设备及存储介质，用于匹配反应腔室中的阻抗，所述一种自动阻抗匹配方法包括以下步骤：获取所述等离子体的阻抗信息；获取所述等离子体的阻抗标准表，所述阻抗标准表包括多个根...
该专利属于季华实验室所有，仅供学习研究参考，未经过季华实验室授权不得商用。

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