下载带凸点芯片与不带凸点裸芯的圆片重构方法的技术资料

文档序号:34852101

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种带凸点芯片与不带凸点裸芯的圆片重构方法,包括以下步骤:在第一载板的正面溅射出种子层,在种子层上涂覆出光阻层;将光阻层图案化;在光阻层图案化的深孔和切割道内填充金属柱;将金属柱外侧的光阻层和种子层去除;在第一载板的正面压膜;对压...
该专利属于无锡中微高科电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡中微高科电子有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。