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带凸点芯片与不带凸点裸芯的圆片重构方法技术
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下载带凸点芯片与不带凸点裸芯的圆片重构方法的技术资料
文档序号:34852101
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本发明涉及一种带凸点芯片与不带凸点裸芯的圆片重构方法,包括以下步骤:在第一载板的正面溅射出种子层,在种子层上涂覆出光阻层;将光阻层图案化;在光阻层图案化的深孔和切割道内填充金属柱;将金属柱外侧的光阻层和种子层去除;在第一载板的正面压膜;对压...
该专利属于无锡中微高科电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡中微高科电子有限公司授权不得商用。
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