下载一种GaN基LED外延片、外延生长方法及LED芯片的技术资料

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本发明提供一种GaN基LED外延片、外延生长方法及LED芯片,该外延片通过在GaN基LED外延片中设置三维成核层,三维成核层包括依次层叠的第一三维成核层、三维成核温度转变层以及第二三维成核层,其中,生长第一三维成核层时的温度低于生长三维成核...
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