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本发明涉及一种测量系统，其具有第一测量模式和第二测量模式，其中第一切换点和第二切换点之间的入射光路和收集光路为两种测量模式通用的共用光路，实现了采用一个偏振系统实现两种模式的光学测量，且两种模式测量过程中，样品都是放置在同一样品台上，即实现...
该专利属于上海精测半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海精测半导体技术有限公司授权不得商用。

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