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本发明提供一种微型金刚石阵列电极及其制备方法。包括：在绝缘层上制备钽金属层；在钽金属层上制备氮化硅保护层并进行第一图形化；在氮化硅保护层上制备二氧化硅牺牲层并进行第二图形化；在二氧化硅牺牲层上制备金刚石薄膜层并进行第三图形化。本发明采用ME...
该专利属于中国科学院空天信息创新研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院空天信息创新研究院授权不得商用。

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